检测范围
- 金属断口失效分析试样
- 焊缝及热影响区微区成分分析试样
- 表面涂层及镀层截面成分试样
- 复合材料界面结合区试样
- 陶瓷相结构及晶界析出相试样
- 矿物岩石微区成分鉴定试样
- 半导体芯片及封装材料截面试样
- 粉末冶金颗粒形貌及成分试样
- 玻璃及微晶玻璃缺陷分析试样
- 腐蚀产物及氧化层截面试样
- 锂电池正负极极片微观形貌试样
- 高分子材料断面及填料分布试样
- 催化剂载体及活性成分分布试样
- 生物医用材料表面及涂层试样
- 磁记录材料微观结构分析试样
- 增材制造件熔道及孔隙分析试样
- 夹杂物及非金属夹杂物分析试样
- 薄膜及多层结构截面成分梯度试样
- 地质样品中稀有金属微区查定试样
- 摩擦磨损表面及磨屑形貌成分试样
- 纳米材料尺寸及元素分布表征试样
检测标准（部分）
- IES SEM-11-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices
- IES SEM-11-IM-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices - Instructor's Manual
- NEMA SEM S1-2018 Small Electric Motors
- IES SEM-4-14 IES Seminar - Lighting Controls For Non-Residential Building
- GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
- T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
- ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
- ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
- ASTM E3309-21 Standard Guide for Reporting of Forensic Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- ASTM E3345-26 Standard Practice for Opinions on the Interpretation of Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- ASTM E3284-23 Standard Practice for Training in the Forensic Examination of Primer Gunshot Residue (pGSR) Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- DIN ISO 15632:2022-09 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
- BS ISO 15632:2021 Microbeam analysis. Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
- KS D ISO 15632 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
- KS D ISO 15632-2023 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
- DIN ISO 15632:2022-03 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021); Text in German and English
- GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
- GB/T 25189-2010 微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
- GB/T 46057-2025 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
- GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法 扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物
常见问题
SEM-EDS检测需要多长时间？通常7-15个工作日
常规样品的SEM-EDS检测周期为7至15个工作日。若样品需要进行复杂的镶嵌、抛光或离子减薄等前处理，或者检测涉及大面积面扫描Mapping及多个微区定点定量分析，检测周期会相应延长。
SEM-EDS检测费用大概多少？根据检测项目数量确定
检测费用根据实际确定的检测项目数量及测试时长计算。基础形貌观察与单点能谱分析收费较低，若涉及大面积元素面分布 Mapping、线扫描或多个特征区域定量分析，费用会根据测试机时增加而相应上调。
SEM-EDS能否检测轻元素如碳、氧、氮？
常规硅漂移探测器能检出硼及以后的元素，但针对碳、氧、氮等超轻元素，受限于特征X射线能量低及吸收严重，仅能作定性或半定量分析，且需配备超薄窗口探测器以提升轻元素探测灵敏度。
检测信息
SEM-EDS是一种结合扫描电子显微镜与能谱仪的微区形貌观察与元素分析技术，主要用于材料表面微观结构表征及微区成分定性定量检测。该技术广泛应用于金属材料、复合材料、矿物、陶瓷及半导体等领域的失效分析与质量控制。
检测目的在于获取样品微米至纳米尺度的形貌特征，并对指定区域进行原子序数11号（钠）以上的元素含量分析。技术手段依靠电子束激发样品产生二次电子、背散射电子及特征X射线，通过信号采集与转换实现图像与能谱的同步获取。
检测流程涵盖样品制备、抽真空、电子束聚焦、图像采集及能谱定量计算。核心参数包括加速电压、束流大小、工作距离及有效检测面积，直接影响图像分辨率与元素检出限。
总结
SEM-EDS是集材料微观形貌成像与微区元素定性定量分析于一体的检测技术，覆盖断口、涂层、夹杂物及多相结构等样品的表征。
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旗下实验室资质
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