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高纯过氧化氢检测

北检(北京)检测技术研究院检测中心提供电子级高纯过氧化氢、半导体级高纯过氧化氢、太阳能级高纯过氧化氢、食品级高纯过氧化氢、医药级高纯过氧化氢、工业级高纯过氧化氢、超高纯过氧化氢等21+项高纯过氧化氢检测服务。旗下实验室拥有CMA、CNAS、ISO等检验检测资质,可按国标、行标、企标出具检测报告,满足各类项目验收及质量管控需求。

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发布时间:2026-09-19 09:41:59 浏览量:0 所属栏目:化工检测

检测范围

  • 电子级高纯过氧化氢
  • 半导体级高纯过氧化氢
  • 太阳能级高纯过氧化氢
  • 食品级高纯过氧化氢
  • 医药级高纯过氧化氢
  • 工业级高纯过氧化氢
  • 超高纯过氧化氢
  • 稳定型高纯过氧化氢
  • 高浓度高纯过氧化氢
  • 电池级高纯过氧化氢
  • 光纤级高纯过氧化氢
  • 试剂级高纯过氧化氢
  • 精细化工级高纯过氧化氢
  • 环保处理级高纯过氧化氢
  • 航天级高纯过氧化氢
  • 农用级高纯过氧化氢
  • 无菌包装级高纯过氧化氢
  • 化妆品级高纯过氧化氢
  • 烟草级高纯过氧化氢
  • 实验室级高纯过氧化氢
  • 微电子级高纯过氧化氢

检测标准(部分)

序号 标准号 标准名称 类别 发布日期 CCS分类 ICS分类
1 HG/T 5736-2020 高纯工业品过氧化氢 (CN-HG)行业标准-化工 2020-12-09 G13氧化物、单质 71.060.20氧化物
2 GB/T 1616-2014 工业过氧化氢 (CN-GB)国家标准 2014-07-08 G13氧化物、单质 71.060.20氧化物
3 HG/T 5552~5555-2019 造纸工业用二氧化钛、土壤修复用过氧化氢、高纯氯化锶和高纯工业品硝酸(2019) (CN-HG)行业标准-化工 2019-12-24 G11无机酸、碱  
4 GB 2300-1980 高纯30%过氧化氢 (CN-GB)国家标准   G64高纯试剂、高纯物质  
5 HG/T 5735~5738-2020 碳酸镍钴锰、高纯工业品过氧化氢、化妆品用硫酸镁和工业过一硫酸氢钾复合盐(2020) (CN-HG)行业标准-化工 2020-12-09 G12无机盐  
6 GB/T 39718-2020 高通量过氧化氢分解催化剂 (CN-GB)国家标准 2020-12-14 G75催化剂 71.100.99其他化工产品
7 GB/T 6684-2002 化学试剂 30%过氧化氢 (CN-GB)国家标准 2002-05-29 G62一般无机试剂 71.040.30化学试剂
8 GB/T 32309-2015 过氧化氢低温等离子体灭菌器 (CN-GB)国家标准 2015-12-10 C47公共医疗设备 11.080消毒和灭菌
9 HG/T 5795-2021 工业用叔丁基过氧化氢 (CN-HG)行业标准-化工 2021-03-05 G17一般有机化工原料 71.080.99其他有机化学品
10 GB/T 33417-2016 过氧化氢气体灭菌生物指示物检验方法 (CN-GB)国家标准 2016-12-30 C50卫生综合 11.080消毒和灭菌
11 HG/T 5553-2019 土壤修复用过氧化氢 (CN-HG)行业标准-化工 2019-12-24 G13氧化物、单质 71.060.20氧化物
12 JB/T 20176-2017 汽化过氧化氢灭菌传递舱 (CN-JB)行业标准-机械 2017-01-09 C92制药加工机械与设备 11.080消毒和灭菌
13 JB/T 20177-2017 汽化过氧化氢发生器 (CN-JB)行业标准-机械 2017-01-09 C92制药加工机械与设备 11.120制药学
14 JB/T 20201-2021 汽化过氧化氢浓度检测仪 (CN-JB)行业标准-机械 2021-08-21 C95药品检验仪器 11.040医疗设备
15 DB21/T 3988-2024 过氧化氢异丙苯生产技术规范 (CN-DB21)辽宁省地方标准 2024-07-30 G70化学助剂基础标准与通用方法  
16 QB/T 4760-2014 阔叶木碱性过氧化氢机械浆 (CN-QB)行业标准-轻工 2014-07-09 Y31纸浆与纸板 85.040纸浆
17 HG/T 4687-2014 过氧化氢泄漏的处理处置方法 (CN-HG)行业标准-化工 2014-07-09 Z05污染控制技术规范 13.030.20液态废物、淤泥
18 QB/T 4614-2013 工业用过氧化氢酶制剂 (CN-QB)行业标准-轻工 2013-12-31 X69其他发酵制品 67.180.20淀粉及衍生制品
19 QJ 20050-2011 航天用过氧化氢使用安全规定 (CN-QJ)行业标准-航天 2011-07-19 V13航空与航天用非金属材料 49.025航空航天制造用材料
20 GB 1616-2003 工业过氧化氢 (CN-GB)国家标准 2003-06-13 G13氧化物、单质 71.060.20氧化物

检测信息

高纯过氧化氢是一种无机化合物,纯度通常在30%至35%以上,杂质含量极低,主要应用于半导体制造、晶圆清洗、光刻胶剥离以及医药无菌包装等领域。

检测目的在于精准测定其主含量及微量金属杂质水平,涉及高锰酸钾滴定法、电感耦合等离子体质谱法等技术手段,以核对是否满足微电子工业的严苛工艺要求。

核心检测参数包括过氧化氢浓度、酸度、总有机碳以及钠钾铁铜等十几种痕量金属离子,整个分析过程涵盖样品前处理、仪器测定与数据校核环节。

常见问题

高纯过氧化氢检测需要多长时间?通常7-15个工作日出具检测报告,如遇复杂痕量金属分析项目可能延长至20个工作日。

高纯过氧化氢检测费用大概多少?根据检测项目数量确定,基础理化指标检测费用较低,全元素痕量分析因涉及大型仪器分析成本较高。

高纯过氧化氢检测报告有什么用途?可用于质量评估、项目验收、供应商资质审查以及半导体产线引进原料的合规性验证。

高纯过氧化氢取样有什么特殊要求?需使用高密度聚乙烯或聚四氟乙烯材质容器,避免光照并低温保存,防止有效成分发生分解。

高纯过氧化氢检测项目

  • 过氧化氢含量测定:衡量有效成分浓度,直接影响晶圆清洗与刻蚀效率。
  • 酸度检测:控制游离酸含量,评估其对半导体元器件的腐蚀性风险。
  • 电导率测试:反映溶液中可溶性电解质杂质水平,用于判定纯度等级。
  • 总有机碳测定:评估有机物污染程度,预测高温分解产生碳化物残留的可能性。
  • 钠离子含量检测:监测碱金属杂质,评估对半导体器件绝缘性能的影响。
  • 钾离子含量检测:控制微量金属离子,反映对微电子工艺介电层质量的影响。
  • 铁离子含量检测:判定过渡金属杂质,评估催化分解及晶圆表面沾污风险。
  • 铜离子含量检测:评估重金属杂质含量,反映产生电迁移效应的潜在概率。
  • 铅离子含量检测:测定有毒重金属含量,用于核对是否符合环保指令及电子材料要求。
  • 镉离子含量检测:监控有害元素,用于判定是否符合RoHS相关限值标准。
  • 铬离子含量检测:测定痕量金属,评估硅片表面产生缺陷中心的概率。
  • 镍离子含量检测:测定金属杂质含量,反映对芯片制造工艺稳定性的影响。
  • 锌离子含量检测:分析微量过渡金属,评估对光刻胶剥离效果的影响。
  • 砷含量检测:监控类金属杂质,用于核对是否符合高纯化学试剂规范限值。
  • 氯离子含量检测:测定卤素杂质,评估对不锈钢设备产生点蚀的风险。
  • 硫酸根离子检测:测定无机阴离子杂质,评估产生沉淀物影响工艺的可能性。
  • 硝酸根离子检测:测定氧化性阴离子含量,用于评估试剂化学稳定性。
  • 磷酸根离子检测:监控阴离子杂质,评估芯片表面形成磷硅玻璃层的风险。
  • 稳定度测试:评估抑制剂有效性,用于判定储存与运输过程中的安全性。
  • 蒸发残渣测定:检测不挥发物含量,用于判定高纯过氧化氢的洁净度。
  • 色度检测:观察溶液外观状态,用于排查由于杂质引起的色泽异常。

总结

高纯过氧化氢检测涵盖主含量、痕量金属及阴离子等指标,验证其是否满足微电子工艺纯度要求。北检检测中心旗下实验室拥有CMA、CNAS、ISO等检验检测资质。报告可用于原料验收,周期通常为7至15个工作日。

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