标准列表（部分）
《 YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 》标准简介
- 标准名称：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
- 标准号：YS/T 1059-2015
- 中国标准分类号：H17
- 发布日期：2015-04-30
- 国际标准分类号：77.040.30
- 实施日期：2015-10-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：制造业冶金有色金属金属材料试验金属材料化学分析
- 内容简介：
行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
《 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 》标准简介
- 标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
- 标准号：YS/T 1060-2015
- 中国标准分类号：H17
- 发布日期：2015-04-30
- 国际标准分类号：77.040.30
- 实施日期：2015-10-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：制造业冶金有色金属金属材料试验金属材料化学分析
- 内容简介：
行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。
《 HG/T 4683-2014 三氯氢硅泄漏的处理处置方法 》标准简介
- 标准名称：三氯氢硅泄漏的处理处置方法
- 标准号：HG/T 4683-2014
- 中国标准分类号：Z05
- 发布日期：2014-07-09
- 国际标准分类号：13.030.20
- 实施日期：2014-11-01
- 技术归口：全国废弃化学品处置标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：环保保健和安全废物化工液态废物淤泥
- 内容简介：
行业标准《三氯氢硅泄漏的处理处置方法》由全国废弃化学品处置标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
《 GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅 》标准简介
- 标准名称：硅外延用三氯氢硅
- 标准号：GB/T 30652-2014
- 中国标准分类号：H83
- 发布日期：2014-12-31
- 国际标准分类号：29.045
- 实施日期：2015-09-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
- 内容简介：
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
《 GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 》标准简介
- 标准名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 标准号：GB/T 29056-2012
- 中国标准分类号：L90
- 发布日期：2012-12-31
- 国际标准分类号：31-030
- 实施日期：2013-10-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学电子技术专用材料
- 内容简介：
国家标准《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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