行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定,测定范围为0.00005%~0.005%。
行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
行业标准《三氯氢硅泄漏的处理处置方法》由全国废弃化学品处置标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
国家标准《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
1、单位面向科研院所、学校和社会企业及科研单位,面向社会公共服务。
2、实验管理中心下设检测分析中心、科研测试中心、X射线应用中心。
3、面向物理、化学化工、材料、纳米、环境、电子、能源等众多学科。
4、拥有多台精密检测仪器设备。
5、能够从事材料微观结构分析、定性和定量分析、材料性能测定、材料质量综合评定等工作。
6、提供24小时开放服务、网络化的管理。
7、具备向校内外科学研究和品质鉴定提供公正、科研测试数据能力的重要机构。