微机检测

地方标准《微机桌》，主管部门为四川省质量技术监督局。

行业标准《微机控制变频调速给水设备》，主管部门为建设部。

行业标准《冲天炉熔炼微机优化控制仪》，主管部门为机械工业部。

行业标准《DWJ-1A型微机激电仪技术条件》，主管部门为地质矿产部。

行业标准《HYX-3型微机 X 射线荧光仪》，主管部门为地质矿产部。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

本文件规定了运输用制冷机组（以下简称“机组”)的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于汽车、列车用，以发动机驱动或电力（电动机)驱动的运输用制冷机组。

行业标准《工业炉窑微机控制装置通用技术条件》，主管部门为机械工业部。