标准列表（部分）
《 T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法 》标准简介
- 标准名称：磁控溅射设备薄膜精度测试方法
- 标准号：T/CIE 132-2022
- 中国标准分类号：/I6520
- 发布日期：2022-08-10
- 国际标准分类号：23.160
- 实施日期：2022-08-10
- 团体名称：中国电子学会
- 标准分类：集成电路设计
- 内容简介：
本标准给出了磁控溅射设备薄膜精度评价的术语、测试原理、被测件、测试环境、测试设备、测试程序等。本标准适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。
《 T/CSEA 15-2021 真空磁控溅射镀银工艺及质量检验 》标准简介
- 标准名称：真空磁控溅射镀银工艺及质量检验
- 标准号：T/CSEA 15-2021
- 中国标准分类号：/C336
- 发布日期：2021-01-29
- 国际标准分类号：25.220.01
- 实施日期：2021-02-01
- 团体名称：中国表面工程协会
- 标准分类：金属表面处理及热处理加工表面处理和镀涂综合
- 内容简介：
本标准规定了真空磁控溅射镀银有关的术语和定义、工艺方法、材料与设备要求、质量检验以及包装储存等。本标准适用于航空航天、船舶、电子等领域的金属以及非金属零件的真空磁控溅射镀银工艺、质量控制与验收。
《 T/GVS 002-2021 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 》标准简介
- 标准名称：高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求
- 标准号：T/GVS 002-2021
- 中国标准分类号：J78/C344
- 发布日期：2021-06-28
- 国际标准分类号：23.160
- 实施日期：2021-06-28
- 团体名称：广东省真空学会
- 标准分类：阀门泵压缩机及类似机械制造
- 内容简介：
本文件规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存本文件适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。
《 SJ/T 31273-1994 EVP－13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法 》标准简介
- 标准名称：EVP－13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31273-1994
- 中国标准分类号：L97
- 发布日期：
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：公告：中华人民共和国工业和信息化部公告2017年(第23号)
- 主管部门：机械电子工业部
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备加工专用设备
- 内容简介：
本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。
《 SJ/T 31067-1994 S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法 》标准简介
- 标准名称：S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法
- 标准号：SJ/T 31067-1994
- 中国标准分类号：L97
- 发布日期：
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1997-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 主管部门：
- 标准分类：电子元器件与信息技术电子工业生产设备加工专用设备
- 内容简介：
《 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件 》标准简介
- 标准名称：磁控溅射设备通用技术条件
- 标准号：SJ/T 10478-1994
- 中国标准分类号：
- 发布日期：1994-04-11
- 国际标准分类号：
- 实施日期：1994-10-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 主管部门：电子工业部
- 标准分类：电子
- 内容简介：
行业标准《磁控溅射设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。
《 GB/T 34649-2017 磁控溅射用钌靶 》标准简介
- 标准名称：磁控溅射用钌靶
- 标准号：GB/T 34649-2017
- 中国标准分类号：H68
- 发布日期：2017-09-29
- 国际标准分类号：77.150.99
- 实施日期：2018-04-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品
- 内容简介：
国家标准《磁控溅射用钌靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
检测流程
检测优势
1、单位面向科研院所、学校和社会企业及科研单位，面向社会公共服务。
2、实验管理中心下设检测分析中心、科研测试中心、X射线应用中心。
3、面向物理、化学化工、材料、纳米、环境、电子、能源等众多学科。
4、拥有多台精密检测仪器设备。
5、能够从事材料微观结构分析、定性和定量分析、材料性能测定、材料质量综合评定等工作。
6、提供24小时开放服务、网络化的管理。
7、具备向校内外科学研究和品质鉴定提供公正、科研测试数据能力的重要机构。
检测实验室
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