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《 GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 》标准简介
- 标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
- 标准号：GB/T 32188-2015
- 中国标准分类号：H21
- 发布日期：2015-12-10
- 国际标准分类号：77.040
- 实施日期：2016-11-01
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：冶金金属材料试验
- 内容简介：
国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
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