俄歇电子能谱检测

国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

行业标准《俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则》，主管部门为电子工业部。

行业标准《俄歇电子能谱术语深度剖析标准导则》，主管部门为电子工业部。

行业标准《俄歇电子能谱术元素鉴定方法》，主管部门为机械工业部。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱（AES）数据记录与报告的规范要求》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《俄歇电子能谱仪检定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《俄歇电子能谱分析方法通则》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。