标准列表（部分）
《 GB/T 23611-2023 金及金合金靶材 》标准简介
- 标准名称：金及金合金靶材
- 标准号：GB/T 23611-2023
- 中国标准分类号：H68
- 发布日期：2023-08-06
- 国际标准分类号：77.150.99
- 实施日期：2024-03-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：GB/T 23611-2009
- 主管部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品
- 内容简介：
国家标准《金及金合金靶材》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”)。
《 XB/T 515-2020 钪铝合金靶材 》标准简介
- 标准名称：钪铝合金靶材
- 标准号：XB/T 515-2020
- 中国标准分类号：H65
- 发布日期：2020-12-09
- 国际标准分类号：77.120.99
- 实施日期：2021-04-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：制造业冶金有色金属其他有色金属及其合金稀土
- 内容简介：
行业标准《钪铝合金靶材》，主管部门为工业和信息化部。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。
《 YS/T 1129-2016 钨钛合金靶材 》标准简介
- 标准名称：钨钛合金靶材
- 标准号：YS/T 1129-2016
- 中国标准分类号：H72
- 发布日期：2016-07-11
- 国际标准分类号：77.160
- 实施日期：2017-01-01
- 技术归口：
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金有色金属粉末冶金
- 内容简介：
行业标准《钨钛合金靶材》，主管部门为工业和信息化部。
《 YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材 》标准简介
- 标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
- 标准号：YS/T 936-2013
- 中国标准分类号：H62
- 发布日期：2013-10-17
- 国际标准分类号：77.150.40
- 实施日期：2014-03-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金有色金属产品有色金属镍和铬产品
- 内容简介：
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
《 GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材 》标准简介
- 标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材
- 标准号：GB/T 39159-2020
- 中国标准分类号：H62
- 发布日期：2020-11-19
- 国际标准分类号：77.150.30
- 实施日期：2021-10-01
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 代替标准：
- 主管部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：冶金有色金属产品铜产品
- 内容简介：
国家标准《集成电路用高纯铜合金靶材》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
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