国家标准《金及金合金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”)。
行业标准《钪铝合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。
行业标准《钨钛合金靶材》,主管部门为工业和信息化部。
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
国家标准《集成电路用高纯铜合金靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
1、单位面向科研院所、学校和社会企业及科研单位,面向社会公共服务。
2、实验管理中心下设检测分析中心、科研测试中心、X射线应用中心。
3、面向物理、化学化工、材料、纳米、环境、电子、能源等众多学科。
4、拥有多台精密检测仪器设备。
5、能够从事材料微观结构分析、定性和定量分析、材料性能测定、材料质量综合评定等工作。
6、提供24小时开放服务、网络化的管理。
7、具备向校内外科学研究和品质鉴定提供公正、科研测试数据能力的重要机构。